強酸強堿過濾系統配置方案與關鍵參數

半導體5nm制程過濾系統配置制程過濾系統配置

系統架構系統架構：

預過濾：Φ68mm PP濾芯，5μm精度，處理量500L/h

精過濾：Φ83mm PES濾芯，0.22μm精度，處理量200L/h

終端過濾：Φ68mm PFA濾芯，0.1μm精度，處理量50L/h

關鍵參數：

壓差控制：終端過濾壓差<0.03MPa，精過濾壓差<0.1MPa，預過濾壓差<0.05MPa

流量分配：遵循"流量與壓差平方根成正比"公式，確保各級濾芯在合理壓差范圍內工作

溫度要求：過濾液溫度控制在25-80℃，避免高溫加速濾材老化

泵選型泵選型：推薦CQB-F型氟塑料磁力泵，耐溫達90℃，適用強酸（如98%硫酸）和強堿（如50%

NaOH），流量0.8-25m3/h，揚程3-40m

密封要求：采用氟橡膠密封件，定期檢查更換，防止泄漏

材料選型依據：

終端過濾選用PFA濾芯，因其金屬離子析出率<0.1ppb，符合半導體超純液體標準

PES精過濾芯在pH全范圍內表現穩定，且內毒素水平低，適合藥液過濾

PP預過濾芯成本效益好，可有效攔截大顆粒，保護后續精密濾芯