在線式氣體過濾器，專為超高純度氣體過濾應用而設計。過濾器采用2層PTFE濾膜，對干燥氣體的過濾精度達到0.003m。獨特的結構設計，即使在高流量情況下，仍能保持較低的壓力損失。另外，該過濾器具有優秀的化學兼容性，適用于所有種類的半導體制程氣體，特別推薦用于惰性氣體和反應性氣體。
產品描述 Description
在線式氣體過濾器，專為超高純度氣體過濾應用而設計。過濾器采用2層PTFE濾膜，對干燥氣體的過濾精度達到0.003m。獨特的結構設計，即使在高流量情況下，仍能保持較低的壓力損失。
另外，該過濾器具有優秀的化學兼容性，適用于所有種類的半導體制程氣體，特別推薦用于惰性氣體和反應性氣體。
產品特點Features &Benefits
316L不銹鋼電解拋光殼體
全氟內芯
優秀的化學兼容性
結構緊湊，易于安裝
耐受高溫、高壓工作環境
潔凈室制作、包裝
100%完整性測試
100%氮氣泄露檢測
SemiF20超純不銹鋼殼體(可選)
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