全氟濾芯三級串聯帶推車過濾系統

全氟濾芯三級串聯帶推車過濾系統是一種將三個全氟濾芯串聯連接并集成在移動推車上的過濾裝置，主要用于高腐蝕性、高溫或超純液體的精密過濾，具備化學兼容性強、移動便捷、過濾精度高等特點。

核心構成與特點

• 全氟濾芯特性：

• 采用PTFE膜和PFA/PVDF骨架，耐受強酸、強堿及有機溶劑（除發煙硫酸等極少數試劑），適用溫度范圍寬（-100℃～260℃），過濾精度0.05μm～10μm，金屬離子析出量極低（<25μg/10"）12。

• 適用于半導體濕法工藝、光刻膠過濾、超純化學試劑等苛刻環境12。

• 三級串聯設計：

• 三級串聯指三個濾芯依次連接，形成多級過濾，逐步去除不同粒徑雜質，提高過濾效率和濾芯壽命。例如，第一級粗過濾（1μm）攔截大顆粒，第二級中過濾（0.45μm）去除中等雜質，第三級精過濾（0.1μm）確保高純度輸出。

• 串聯結構可定制精度組合（如1μm→0.45μm→0.1μm），適應復雜流體需求。

• 推車系統優勢：

• 移動式不銹鋼推車（通常304或316L材質）支持靈活部署，便于工廠內不同工位或臨時過濾任務。推車集成進出口快裝接頭、壓力表（0～1.0MPa）及萬向輪（帶剎車），操作便捷。

• 支持多臺并聯或串聯，擴展性強，適用于小批量藥液、工藝用水、腐蝕性液體的在線過濾。

應用場景與技術參數

• 典型應用：

• 半導體制造：超純水、蝕刻液、光刻膠的終端過濾，防止顆粒污染晶圓2。

• 電子行業：高純有機溶劑、液晶面板清洗液的精密過濾13。

• 制藥與化工：強腐蝕性試劑、高溫液體的移動過濾，符合GMP無菌要求。

• 技術參數：

• 流量：單臺推車系統可達100L/min（具體取決于泵配置）。

• 壓差：最大正向壓差0.43MPa（25℃），支持高壓過濾場景2。

• 連接方式：進出口尺寸DN20/DN25，快裝卡箍或螺紋連接，適配主流管道。